樹脂“抱團(tuán)”現(xiàn)象是指混床中陰陽離子樹脂混合在一起時(shí)，由于陽離子樹脂脫下來的H+離子與陰離子樹脂脫下來的OH-離子互相結(jié)合成水，陽離子樹脂失去一些陽離子而顯負(fù)電性，陰離子樹脂失去一些陰離子而顯正電性，這兩種帶異性電荷的樹脂小球會(huì)互相吸引成團(tuán)狀。

預(yù)處理裝置主要由原水泵、石英砂過濾器、活性炭過濾器、保安過濾器等組成。其主要作用是降低原水的污染指數(shù)、余氯等其他雜質(zhì)，達(dá)到反滲透的進(jìn)水要求。

拋光樹脂是由氫型強(qiáng)酸性陽離子交換樹脂及氫氧型強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂混合而成，一般用于超純水系統(tǒng)的末端，經(jīng)過拋光樹脂精處理后的水質(zhì)能達(dá)到18兆歐以上，并對(duì)TOC、SIO2有一定的抑制。

目前我國電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm。

預(yù)處理必須能夠去除原水中的絕大多數(shù)雜質(zhì)以滿足反滲透進(jìn)水要求，確保產(chǎn)水水質(zhì)達(dá)標(biāo)、產(chǎn)水量穩(wěn)定、系統(tǒng)回收率長期維持不變、延長反滲透膜使用壽命等。

壓力表：主要設(shè)在泵前、泵后、濃水、產(chǎn)水側(cè)，顯示反滲透裝置的運(yùn)行壓力，根據(jù)壓力數(shù)值判斷膜及濾芯是否堵塞。

水在加熱過程中，由于蒸發(fā)濃縮，水中的金屬陽離子同陰離子結(jié)合在一起，形成水垢附著在受熱面上，水中這些金屬離子的總濃度稱為水的硬度。

超純水廣泛應(yīng)用于電子芯片、醫(yī)藥生物、精細(xì)化工等其他行業(yè)，理論電阻率最高為18.25 MΩ·cm。 在EDI裝置后，通常配備拋光混床作為最終的精處理裝置，設(shè)計(jì)流速一般為40-60m/h。

在集成電路生產(chǎn)中，超純水主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制，其中包括硅片氧化的水汽源，部分設(shè)備的冷卻水，配制電鍍液等。